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    光刻系统200包括照射系统230。照射系统230包括光源205，光源205产生脉冲光束210，并将脉冲光束210引导至对晶片220上的微电子特征进行图案化的光刻曝光设备或扫描仪215。晶片220放置在晶片台222上，晶片台222构造成保持晶片220并连接到定位器，该定位器配置成根据某些参数准确地定位晶片220。光束210也被引导通过束准备系统212，束准备系统212能够包括修改光束210的多个方面的光学元件。例如，束准备系统212能够包括反射或折射光学元件、光脉冲展宽器和光学光阑(包括自动遮蔽件)。光谱特征选择系统250基于控制系统185的输入来微调光源205的光谱输出。光刻系统200使用具有例如在深紫外线(duv)范围或极紫外线(euv)范围内的波长的光束210。光刻系统100还包括测量(或量测)系统270和控制系统185。量测系统270测量光束的一个或更多个光谱特征(诸如带宽和/或波长)。量测系统270推荐地包括多个传感器。量测系统270接收被从束分离装置260改变方向的光束210的一部分，所述束分离装置260放置在光源205和扫描仪215之间的路径中。束分离装置260将光束210的***部分引导至量测系统270中，将光束210的第二部分朝向扫描仪215引导。在一些实施方式中。跑道型扁平线圈是一种常见的电子元件，它的形状类似于跑道，通常用于各种电子设备和电路中。赣州扁平线圈电话

    大部分光束在第二部分中被朝向扫描仪215引导。例如，束分离装置260将光束210的一部分(例如1-2％)引导至量测系统270。束分离装置260能够是例如分束器。扫描仪215包括具有例如一个或更多个聚光透镜、掩模、掩模版和物镜布置的光学布置。掩模可沿一个或更多个方向移动，诸如沿光束210的光轴或在垂直于光轴的平面上。物镜布置包括投影透镜，并使得能够发生图像从掩模转印到晶片220上的光致抗蚀剂。照射器系统调整射到掩模上的光束210的角度范围。照射器系统还使横跨掩模的光束210的强度分布均匀化(使得均匀)。除其它特征部外，扫描仪215能够包括光刻控制器240、空调装置和用于各种电气部件的电源。光刻控制器240控制如何在晶片220上印制多个层。光刻控制器240包括存储器242，该存储器242储存诸如过程选配方案的信息，并且还可以储存关于可以使用或推荐如下文更***地描述的重复率的信息。晶片220被光束210照射。处理程序或选配方案确定晶片120上的曝光长度，所用的掩模以及影响曝光的其它因素。在光刻期间，光束110的多个脉冲照射晶片220的同一区域以构成照射剂量。照射同一区域的光束210的脉冲数n能够被称为曝光窗口或狭缝。大足区扁平线圈供应铝线圈的制作工艺较为简单，可以通过手工或机器自动绕制。

无线充电线圈可实现总厚度约120μm，且内阻在250mω(mohm)以下，对应的充电效率>75％，即在尺寸更小(厚度和线间距)的情况下，能达到相同的电阻值。进一步地，在本发明实施例提供的无线充电线圈中，所述铜箔的厚度为60-150μm；所述***绝缘层的厚度为2-20μm，推荐为2-5μm；所述第二绝缘层的厚度为2-5μm。所述***绝缘层为绝缘膜，且所述***绝缘层选自pe膜、pet膜、pi膜、pc膜、pp膜、pvdf膜、ptfe膜、玻璃膜和陶瓷膜中的至少一种；和/或，所述第二绝缘层为绝缘膜，且所述第二绝缘层选自pe膜、pet膜、pi膜、pc膜、pp膜、pvdf膜、ptfe膜、玻璃膜和陶瓷膜中的至少一种，或者，所述第二绝缘层为绝缘油墨层，且所述第二绝缘层的材料选自环氧树脂油墨、丙烯酸树脂油墨、聚酯树脂油墨和酚醛树脂油墨中的至少一种。本发明先后进行过多次试验，现举一部分试验结果作为参考对发明进行进一步详细描述，下面结合具体实施例进行详细说明。实施例1一种无线充电线圈的制备方法，包括如下步骤：1.在110-130微米厚度的铜箔下表面贴合一层衬底材料：衬底材料采用石蜡；贴合方法为高温热压。2.用精密雕刻设备将铜面雕刻出所需的线圈图案和阵列：采用精雕机如机械雕刻机实现该工艺。

    该狭缝的尺寸可以通过放置在掩模之前的曝光狭缝来控制。掩模、物镜布置和晶片220中的一个或更多个能够在曝光期间相对于彼此移动，以横跨曝光场扫描曝光窗口。曝光场是在曝光狭缝或窗口的一次扫描中被曝光的晶片220的区域。本实施例还可以使用下列方面进行描述：1.一种具有扁平线的实质上平坦的线圈，所述扁平线包括：导体，具有实质上矩形的横截面，且具有***对侧边和第二对侧边，所述***对侧边定向成实质上垂直于所述线圈的平面，所述第二对侧边定向成实质上平行于所述线圈的平面；和电绝缘材料，在所述***对侧边的侧边中的至少一个上，所述第二对侧边的侧边中的至少一个没有任何电绝缘材料。2.根据方面1所述的实质上平坦的线圈，其中，所述线圈实质上为圆形。3.根据方面1所述的实质上平坦的线圈，其中，所述线圈具有跑道形状。4.根据方面1所述的实质上平坦的线圈，其中，在***对侧边的两个侧边上电绝缘材料。5.根据方面1所述的实质上平坦的线圈，其中，在第二对侧边的两个侧边上没有电绝缘材料。6.一种致动器，包括：永磁体；和具有扁平线的实质上平坦的线圈，所述扁平线包括：导体，具有实质上矩形的横截面，并具有***对侧边和第二对侧边。立绕线圈的质量和性能受到绕线技术、磁芯材料、导线材料等因素的影响。

具体实施方式为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例**用以解释本发明，并不用于限定本发明。本发明提供的一种充电线圈加工方法包括步骤：采用激光沿着螺旋切割线将铜箔切割成螺旋状铜线；其中，切割过程中，所述激光以螺旋线行进轨迹沿着所述螺旋切割线运动。为了便于理解本发明的技术方案，需要对螺旋切割线和激光的螺旋线行进轨迹分别进行解释说明。图1为加工完成的充电线圈示意图，图2为局部放大示意图，相邻铜线1之间的间隙为螺旋切割线2。图3为激光的一种螺旋线行进轨迹，图中的行进轨迹为螺旋圆，较佳地，所述螺旋圆的直径大于等于(d+)mm，其中，d为所述螺旋切割线的线宽。还可以采用螺旋椭圆或其他的平滑的螺旋线代替，激光加工前，可以根据需要在激光加工设备上对螺旋线的形状进行编程设定，本发明不作限定。本发明中激光按照螺旋线行进轨迹运动，沿着螺旋切割线2对铜箔进行切割，如图4所示，得到充电线圈。采用螺旋线行进轨迹替代传统的线条轨迹进行激光切割加工，可以保证加工过程中线圈不同位置的反射性相同，切割出的铜线毛刺相对较少，线圈缝宽。立绕扁平线圈的制造需要使用专业的绕线机和模具，绕制完成后需要进行热处理和浸漆等工艺处理。中山线圈价格

随着汽车技术的发展，车载线圈也在不断改进和创新，以适应更高效、节能、环保的汽车电子系统的发展需求。赣州扁平线圈电话

d为所述螺旋切割线的线宽。进一步地，所述采用激光沿着螺旋切割线将铜箔切割成螺旋状铜线的步骤之前还包括：将所述铜箔固定于治具上。进一步地，所述治具上设置有若干通向所述治具的上表面的吸附孔。进一步地，所述治具的上表面上设有螺旋线槽，所述螺旋线槽正对所述螺旋切割线。进一步地，所述螺旋线槽的宽度大于所述螺旋切割线的线宽。进一步地，所述螺旋线槽的宽度为(d+)mm，其中，d为所述螺旋切割线的线宽。进一步地，所述激光的参数为：波长355nm，功率为40w。一种无线充电装置，包括充电线圈，所述充电线圈采用如上所述的方法制作而成。本发明与现有技术相比，有益效果在于：本发明的充电线圈加工方法中，采用螺旋线行进轨迹替代传统的线条轨迹进行激光切割加工，可以保证加工过程中线圈不同位置的反射性相同，切割出的铜线毛刺相对较少，线圈缝宽(即相邻铜线间的间隙)更均匀，此外采用螺旋线加工的方式热量累积少、效率更高。采用本发明的方法，可加工出缝宽精度为。附图说明图1是一种加工完成的螺旋状铜线的示意图。图2是图1的螺旋状铜线的局部放大示意图。图3是本发明中激光的一种螺旋线行进轨迹示意图。图4是本发明的一种充电线圈加工方法示意图。赣州扁平线圈电话